スマホやデータセンター向けの半導体需要が高まり、半導体メーカーが増産投資を強めた事で過去最高額となった。地域別では半導体の国産化を進める中国が初めて最大市場になった。中国市場での装置販売額は前年比39%増の187億2千万㌦。高速通信規格「5G」の普及や新型コロナウイルスによる巣ごもり需要で、半導体受託生産会社（ファウンドリー）などでの投資が旺盛だった。